闭环行程100μm、500μm可选

分辨率最高0.5nm

内置电容传感器

线性误差0.02%FS

闭环行程15μm

分辨率0.3nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

闭环行程15μm

分辨率0.5nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

闭环行程250µm

分辨率0.3nm

内置电容传感器

线性误差0.03%FS

闭环行程200μm

分辨率达到1nm

内置电容传感器线性0.03%FS

闭环行程30μm

线性误差0.03%FS

100g带载谐振频率1100Hz

闭环行程180*180μm

分辨率2nm

内置电容传感器

线性误差0.02%FS

闭环行程60μm*60μm

分辨率0.4nm

内置电容传感器

线性误差0.04％FS

闭环行程100~150μm可选

最大转角2mrad

位移分辨率达到1nm

角度分辨率0.2μrad

线性误差0.03%FS

闭环Z轴行程240μm

闭环Rx、Ry行程2mrad

分辨率2nm

内置电容传感器

X、Y闭环行程100μm

Z轴闭环行程15μm

三轴中空设计

纳米级分辨率