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压电致动
PJ3118 紧凑型中空XY压电位移台
紧凑中空设计，纳米级位置控制，内置高精度电容传感器。
闭环行程180*180μm
分辨率2nm
内置电容传感器
线性误差0.02%FS
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产品概述
• 紧凑型XY二维中空纳米运动平台
• 保持结构紧凑的同时仍可实现百微米级行程
• 纳米级分辨率和高速动态响应能力
• 支持ID芯片功能，更换运动台部件无需重新校准
应用领域
掩模/晶圆定位
扫描显微镜
干涉测量
测量技术
生物技术
产品特点
