安徽见行-PJ3118 紧凑型中空 XY 压电位移台

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PJ3118 紧凑型中空XY压电位移台

紧凑中空设计，纳米级位置控制，内置高精度电容传感器。

闭环行程180*180μm

分辨率2nm

内置电容传感器

线性误差0.02%FS

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产品概述
产品规格

产品概述

• 紧凑型XY二维中空纳米运动平台

• 保持结构紧凑的同时仍可实现百微米级行程

• 纳米级分辨率和高速动态响应能力

• 支持ID芯片功能，更换运动台部件无需重新校准

应用领域

掩模/晶圆定位

扫描显微镜

干涉测量

测量技术

生物技术

掩模/晶圆定位

扫描显微镜

干涉测量

测量技术

生物技术

PJ3118紧凑型中空XY压电位移台

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