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压电致动
PJ6024 中空三轴压电偏摆台
Z&Rx&Ry三轴运动，纳米级位置控制，内置高精度电容传感器
带载能力强，最大负载3.5kg
支持ID芯片功能，换运动台部件无需重新校准
紧凑型设计，适合空间受限的集成系统
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
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产品概述
• 中空三轴压电偏摆台
• 采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构
• 内置高精度电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制
• Z方向的闭环行程可达240μm，θx、θy方向的闭环行程可达2mrad
应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
超高分辨率显微镜
产品特点
