柔性铰链位移台 - 压电致动- 压电致动- 安徽见行科技有限公司

支持多轴运动，内置高精度电容传感器，纳米级位置控制，支持定制化设计。

全部单轴台双轴台多轴台物镜台

XYθz 多轴压电位移台

闭环行程100~150μm可选

最大转角2mrad

位移分辨率达到1nm

角度分辨率0.2μrad

线性误差0.03%FS

中空三轴压电偏摆台

闭环Z轴行程240μm

闭环Rx、Ry行程2mrad

分辨率2nm

内置电容传感器

XYZ三轴压电位移台

X、Y闭环行程100μm

Z轴闭环行程15μm

三轴中空设计

纳米级分辨率

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与见行并肩，齐绘精密定位新蓝图

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压电致动: 压电致动; 市场及应用; 技术支持

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