柔性铰链位移台 - 压电致动- 压电致动- 安徽见行科技有限公司

支持多轴运动，内置高精度电容传感器，纳米级位置控制，支持定制化设计。

全部单轴台双轴台多轴台物镜台

XY轴偏心压电位移台

闭环行程30μm

线性误差0.03%FS

100g带载谐振频率1100Hz

紧凑型两轴压电柔性铰链位移台

行程范围覆盖60μm-80μm

XY位移分辨率可达1nm

结构紧凑，体积仅40mmX40mmX27mm

紧凑型中空XY压电位移台

闭环行程180*180μm

分辨率2nm

内置电容传感器

线性误差0.02%FS

两轴高动态压电柔性铰链位移台

闭环行程60μm*60μm

分辨率0.4nm

内置电容传感器

线性误差0.04％FS

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与见行并肩，齐绘精密定位新蓝图

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