PJ3306 - 安徽见行科技有限公司

PJ3306 紧凑型两轴压电柔性铰链位移台

PJ3306压电位移台是一款紧凑型XY二维纳米运动平台

产品结构紧凑的同时行程可达80μm

产品分辨率高，闭环分辨率可达1nm

支持ID芯片功能，更换运动台部件无需重新校准

产品概述

• 内嵌式安装孔位设计，空间利用率高

• 串联式结构，耦合串扰小，运动精度高

• 配合控制器可支持快速扫描（如螺旋扫描、梯度扫描等）

应用领域

光学对准与光束稳定

微纳制造

半导体

光学对准与光束稳定

微纳制造

半导体

产品特点

采用柔性铰链系统

柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使

用寿命，无需维护。

内置高精度电容传感器

内置电容传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和

闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。

支持ID芯片功能

运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

体积小、行程大、精度高

通过内嵌式安装孔位设计，进一步缩小运动平台体积，PJ3306尺寸仅40 mm×40 mm×27 mm，闭环行程达60 μm。内置高精度

电容位移传感器，使压电位移台具有优异的运动线性度与定位精度。