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压电致动
PJ3006 两轴高动态压电柔性铰链位移台
X、Y两轴运动，高动态，纳米级位置控制，内置高精度电容传感器
大通孔设计，满足透光使用需求
阳极氧化黑工艺，安装面做导电处理
电容传感器直接测量动定子相对位移，精度更高
采用高刚度柔性铰链放大机构，保证高动态和承载能力
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产品概述
• XY二维高动态中空纳米运动平台
• 支持不同运动行程定制，行程覆盖30~300μm
• 采用并联运动学设计，响应速度更快，多轴精度更高
• 产品分辨率高，单向重复性达±2nm
应用领域
掩模/晶圆定位
扫描显微镜
干涉测量
测量技术
生物技术
产品特点
