PJ12015-S 微型单轴压电位移台
纳米级位置控制，内置高精度电容位移传感器，毫秒级响应

闭环行程15μm

分辨率0.5nm

内置传感器线性0.03%FS

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产品概述

• PJ12015-S是一款紧凑型一维压电位移台

• 结构紧凑，适合狭小空间应用

• 采用直驱设计，动态性能高

• 应用场景广泛，可水平、竖直、倒立安装

应用领域
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
自动对焦系统
干涉测量
测量技术
半导体检测
共聚焦显微镜
产品特点
采用柔性铰链系统
使用柔性铰链导向减小耦合串扰。柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。
内置高精度电容位移传感器
内置电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。
支持ID芯片功能
运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。


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