新品发布 | PJ511-3三轴压电位移台

     见行科技的PJ511-3压电位移台是一款高精度的X、Y、Z三维中空纳米运动平台。该平台采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构，并内置高精度电容位移传感器，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度。X、Y方向的闭环行程可达100μm，Z方向的闭环行程为10μm。        

     PJ511-3压电台Z轴空载谐振频率高达2200Hz，凭借其高精度、快速响应、纳米级分辨率和多自由度运动能力，广泛应用于共聚焦显微镜，AFM原子力显微镜、半导体与精密制造等领域。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE111通用数字式压电控制器,该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。控制器由多个子模块构成，通过不同模块的搭配可以调整通道数量，最多支持6个通道，也可选择压电控制器或高压驱动器模式。

实物照片：产品配套控制器PE111

图示：上位机软件界面

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

 1、采用高性能柔性铰链系统

柔性铰链实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

2、具有中空的结构，精度高

本产品内置电容位移传感器，保证了压电台的线性度和精度，压电台X、Y轴线性误差0.03%FS，三轴单向重复性均达到±2nm。

3、支持ID芯片功能

运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

图示：主要技术参数

在闭环控制模式下，分别测试压电台X轴、Y轴10μm阶跃（全行程的10%），稳定至±1%误差带（±100nm）所需时间。压电台带载440g，压电台内部传感器采集数据（25ksps采样，做滑动平均，滑动窗25个点），得到X轴阶跃时间为17ms，Y轴阶跃时间为17ms。

图示：X轴阶跃响应整体图像

图示：X轴阶跃响应局部图像

图示：Y轴阶跃响应整体图像

图示：Y轴阶跃响应局部图像

 在闭环控制模式下，测试压电台Z轴1μm阶跃（全行程的10%），稳定至±1%误差带（±10nm）所需时间。压电台带载440g，压电台内部传感器采集数据（25ksps采样，做滑动平均，滑动窗25个点），得到Z轴阶跃时间为22ms。

图示：Z轴阶跃响应整体图像

图示：Z轴阶跃响应局部图像

主要应用场景

01光学与光子学：

（1）激光稳频与光束控制；（2）自适应光学（AO）；（3）干涉测量与全息术。

02显微成像与生物技术：

（1）共聚焦显微镜；（2）超分辨显微镜（STED/PALM）；（3）原子力显微镜（AFM）。

03半导体与精密制造：

（1）光刻与晶圆检测；（2）微纳加工（FIB/E-beam）。