新品发布 | PJ201紧凑型Z轴压电位移台

见行科技的PJ201压电位移台是PJ20xx系列Z轴压电位移台的第二款产品。PJ201压电位移台采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构，内置高精度电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度。 PJ201压电位移台通过内嵌式安装孔位优化空间利用率，使体积进一步缩小。本产品采用多自由度误差抑制设计，使俯仰、偏摆误差控制在±50μrad之内，相比市面同类型产品更有优势。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE101-1单轴数字式压电控制器，该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，兼容高压放大功能，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。可实现对柔性铰链位移台的高精度控制。

实物照片：产品配套控制器PE101-1

图示：上位机软件界面

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

 1、采用高性能柔性铰链系统

柔性铰链实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，无磨损设计显著提升高频运动下的使用寿命，降低维护需求，适合长期高动态工况。

2、体积小、行程大、精度高

通过内嵌式安装孔位设计，让运动平台体积进一步缩小，PJ201尺寸仅40×40×17.5mm，行程达100μm。内置高精度电容位移传感器，保证了压电台的线性度和精度，压电台单向/双向重复精度为±2nm/±5nm，线性误差0.03%FS。

3、多自由度误差抑制

与传统Z轴运动平台相比，通过优化机械结构与装配工艺，使俯仰、偏摆误差进一步降低。

图示：主要技术参数

闭环控制模式下，测试压电台Z轴位移500nm，稳定至±2.5nm误差带所需时间。压电台带载230g，压电台内部传感器采集数据（25ksps采样，做滑动平均，滑动窗158个点），得到阶跃时间为22ms。

图示：Z轴阶跃响应整体图像

图示：Z轴阶跃响应局部图像

主要应用场景

01生物医学成像：

共聚焦显微镜Z轴快速聚焦，利用无摩擦特性避免图像抖动。

02半导体检测：

晶圆表面形貌测量，依赖高重复性与低偏摆误差，保证扫描一致性。

03光学精密调整：

激光束路径校准，通过纳米级定位实现光路相位的稳定。