新品发布丨PL200-6尺蠖式压电电机

     见行科技PL200-6压电微步电机是一款一维Z向纳米运动电机，结构紧凑，响应速度快，可多通道同步控制。本产品开环运动行程可达6mm以上（行程可定制），驱动力可达50N以上（最高300N可定制），保持力可达100N，可广泛应用于光刻机镜头精密调节、显微镜、半导体与精密制造等领域。

图示：产品实物

电机运动动画

推荐控制器：

PE601尺蠖式压电电机控制器，该控制器用于尺蠖式压电电机的控制，内置光栅传感器电路，可实现高精度反馈；支持开环工作模式，可选择快速模式和高精度模式两种运动方式；兼容高压放大功能，通讯接口丰富，包含RS422、Ethernet等。可搭配定制上位机软件使用，该软件页面清晰，操作交互便捷，运动状态图像与数据可视化。

实物照片：产品配套控制器PE601

图示：上位机软件界面

01、亚纳米级分辨率和纳米级精度

通过压电陶瓷不同运动方向的交替配合，将输出端向前推进。快速模式下，单步步距可达4μm，高精度模式下，分辨率达1nm。

图示：电机高精度模式下运动1nm位移量（外部电容传感器测量结果，采样率100Hz）

02、高保持力与驱动力

尺蠖压电电机水平放置时，输出轴运动方向静态时，最大可带10kg负载；电机运动时最大可带5kg负载。

03、大行程以及断电自锁特性

尺蠖压电电机在保持纳米级精度的同时还能通过步进累积方式，实现从微米到毫米的直线行程；且能在断电或停止时自锁保持位置，减小断电以后位置漂移。

主要技术参数

主要应用场景

01光刻机镜头精密调节：

（1）激光稳频与光束控制；（2）自适应光学（AO）；（3）干涉测量与全息术。

02显微成像与生物技术：

（1）共聚焦显微镜；（2）超分辨显微镜（STED/PALM）；（3）原子力显微镜（AFM）。

03半导体与精密制造：

（1）光刻与晶圆检测；（2）微纳加工（FIB/E-beam）。