静态分辨率 0.01%FSO
数字输出线性度＜±0.05%
适配所有电容探头
低成本测量方案
纳米级测量精度
最大 8 通道可选
支持真空环境应用
悬浮地应用
8 通道同时检测
8 台设备组网检测
无线传输
多量程探头可选
测量精度±0.01mm
最小分辨率达2μm
探头可定制
综合化间隙测量方案
