新品发布 | PJ6024中空三轴压电偏摆台

见行科技的PJ6024压电偏摆台是一款高精度的Z、θx、θy三维中空纳米运动平台。该平台采用经有限元分析优化的柔性铰链放大机构，Z方向的闭环行程可达240μm，θx、θy方向的闭环行程可达2mrad。本产品内置高精度电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度。产品线性误差0.03%FS，Z轴双向重复定位精度达±15nm，θx、θy轴双向重复定位精度达±0.5μrad，最大负载3.5kg。PJ6024中空三轴压电偏摆台凭借其高精度、快速响应、纳米级分辨率和多自由度运动能力，可广泛应用于光学与光子学、显微成像与生物技术、半导体与精密制造等领域。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE111通用数字式压电控制器，该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。控制器由多个子模块构成，通过不同模块的搭配可以调整通道数量，最多支持6个通道，也可选择压电控制器或高压驱动器模式。

实物照片：产品配套控制器PE111

图示：上位机软件界面

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

  1、采用高性能柔性铰链系统

 柔性铰链实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

  2、具有中空的结构、精度高

 内置高精度电容位移传感器，保证了压电台的线性度和精度，压电台线性误差0.03%FS，且在最大带载3.5kg下仍然可以保持此精度。

 3、支持ID芯片功能

 运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

主要技术参数

在闭环控制模式下，分别测试压电台Rx、Ry轴位移20μrad，稳定至±1%误差带（±0.2μrad）时所需的时间，以及Z轴位移24μm阶跃（全行程的10%），稳定至±1%误差带（±240nm）时所需的时间。     压电台带载2.8kg，压电台内部传感器25ksps采集数据。得到Rx轴阶跃时间为44ms，Ry轴阶跃时间为42ms，Z轴阶跃时间为44ms。

图示：Rx轴阶跃响应整体图像

图示：Rx轴阶跃响应局部图像

图示：Ry轴阶跃响应整体图像

图示：Ry轴阶跃响应局部图像

图示：Z轴阶跃响应整体图像

图示：Z轴阶跃响应局部图像

主要应用场景

01光学与光子学：

（1）激光稳频与光束控制；

（2）自适应光学（AO）；

（3）干涉测量与全息术。

02显微成像与生物技术：

（1）共聚焦显微镜；

（2）超分辨显微镜（STED/PALM）；

（3）原子力显微镜（AFM）。

03半导体与精密制造：

（1）光刻与晶圆检测；

（2）微纳加工（FIB/E-beam）。