精密机械位移传感精密机械市场应用

纳米压电台闭环 在半导体设备、生物医疗、精密光学、扫描显微镜等领域有大量的精密位移控制的需求，在这些应用中常常使用压电陶瓷进行纳米级位移控制，用于样品的移动，镜头的精密调焦等。使用电容传感器可对微小位移进行测量，形成闭环系统，实现纳米级位移分辨率的位置控制。

天文望远镜镜面拼接 火箭发动机高速运转过程中需要对其转轴振动情况进行监测，及时对故障进行识别并采取安全措施。由于火箭发动机转轴温度变化范围较大，需要传感器有极佳的温度稳定性，避免因测量误差造成未能及时识别故障或故障误报。

大型天文望远镜反射镜通常由多个子镜组成，在户外环境条件下，各个子镜由于温度变化、结构蠕变等因素会发生微小的位置变化，此外，根据观测需求还要调整镜面的姿态和焦点。在上述被动和主动变化过程中，需要始终保持各个子镜的边缘对齐，对齐精度需要达到数十纳米以内。电涡流传感器对湿度变化不敏感，适用于户外环境的精密位移测量。采用高稳定性高分辨率电涡流传感器作为镜片姿态调整的位置反馈元件，可实现纳米级控制精度，实现高质量成像。