光刻
发布日期：2025-05-14 来源： 浏览次数：142
世界数字化的突破离不开光刻技术制造的最新一代集成电路。光刻对晶圆的加工以及掩模等组件的计量都需要超精密的定位技术。通常，系统在真空和高能辐射的恶劣环境中运行，只允许选择有限的材料。基于压电驱动技术的定位系统结合了高度紧凑的占地面积和极高的精度，来满足符合光刻应用的特殊要求。
图1-基于压电致动器的光刻系统原理图
图2-光刻机使用的多自由度压电台
世界数字化的突破离不开光刻技术制造的最新一代集成电路。光刻对晶圆的加工以及掩模等组件的计量都需要超精密的定位技术。通常，系统在真空和高能辐射的恶劣环境中运行，只允许选择有限的材料。基于压电驱动技术的定位系统结合了高度紧凑的占地面积和极高的精度，来满足符合光刻应用的特殊要求。
图1-基于压电致动器的光刻系统原理图
图2-光刻机使用的多自由度压电台
