L-90S 位移台

L-90S是薄型一维运动平台总厚度为26.5mm

可实现高动态响应与微米级定位精度

搭配高刚性交叉滚柱导轨(可定制防蠕动型号)

采用无铁芯直线电机直驱技术,运动无齿槽效应

  • 产品概述
  • 产品规格
产品概述

• 交叉滚柱导轨,负载能力优异

• 紧凑的横截面:97毫米 × 26.5毫米

• 可定制光栅尺分辨率,支持低速高精定位

• 无铁芯直线电机速度可达300mm/s

应用领域
激光加工
半导体
光学对位
激光加工
半导体
光学对位