L-130 位移台

运动行程可达130mm

采用无铁芯直线电机驱动,无齿槽效应

采用交叉滚柱导轨,支持定制防蠕动交叉滚柱导轨

支持定制不同分辨率的光栅尺,达到低速高精定位相关应用

  • 产品概述
  • 产品规格
产品概述

• 平台尺寸设计紧凑

• 运动速度可达500mm/s

• 编码器反馈信号支持定制

• 可叠加组合XY二维台


应用领域
激光加工
半导体
光学对位
激光加工
半导体
光学对位