LEB-X-50.P X轴直线位移台

LEB-X-50.P为大负载单轴X向电机

电机内部集成驱动、通信模块,不需要额外控制器

高精度控制,最小位移增量可达20nm

支持参数定制和提供真空兼容版本

  • 产品概述
  • 产品规格
产品概述

• 内置位置和速度控制,可控制电机运行速度

• 非接触式光栅传感器直接测量平台位移,减小传动误差

• 采用交叉滚子导轨,实现高精度运动和大负载能力

• 直流无刷电机配合丝杆具有高寿命特点,内置光电开关限位,提高可靠性

应用领域
半导体
纳米定位
生物技术
半导体
纳米定位
生物技术

  • LEB-X-50 P X轴直线位移台