LEB-Z-26.HL为大负载单轴Z向电机
电机内部集成驱动、通信模块，无需额外控制器
大负载设计，可达20kg
空载最小位移增量20nm
支持参数定制和提供真空兼容版本
• 内置速度和位置控制，可控制电机运行速度
• 非接触式光栅传感器直接测量平台位移，减小传动误差
• 直流无刷电机配合丝杆具有高寿命特点，内置光电开关限位，提高可靠性
• 支持使用专用指令集，方便二次开发
