HEB-640是一款六自由度高精度定位并联平台
其负载可达5kg，并具有较高的重复定位精度±0.1µm
产品提供配套上位机控制模拟软件
支持参数定制和提供真空兼容版本
• 采用直流无刷电机驱动和光栅测量，具有较高寿命和可靠性
• 位移台采用六足同步控制算法，可实现复杂运动
• 结构紧凑，在小空间内可执行复杂六轴运动
• 提供多种接口和指令集，方便二次开发
