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压电致动
PJ721 高负载物镜扫描台
纳米级位置控制,内置高精度电容传感器,用于较重物镜的长行程、高动态扫描系统
谐振频率高，满足快速扫描需求
内置高精度电容传感器，分辨率高
固定螺纹孔可定制分离或一体式
表面采用黑色阳极氧化，安装面做导电处理
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产品概述
• 高负载物镜扫描台
• 负载能力可达600g
• 采用柔性铰链设计，无回差
• 可通过改变固定螺纹尺寸，匹配不同物镜
应用领域
共聚焦显微镜
半导体检测
测量技术
干涉测量
自动对焦系统
产品特点
