新品发布 | PJ12015-S微型单轴压电位移台

见行科技PJ12015-S微型单轴压电位移台是高精度的一维X向纳米运动平台。采用经过有限元分析优化的柔性铰链放大机构，运动开环行程20μm，闭环行程15μm，可广泛应用于微纳加工、样品扫描、显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术等场合。本产品内置电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度。产品线性度达0.03%，单向和双向重复定位精度分别达到1nm和3nm。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE101单轴数字式压电控制器，该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，兼容高压放大功能，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。

实物照片：产品配套控制器PE101

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

 1、高性能柔性铰链系统

本产品采用了高性能柔性铰链，实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。

2、结构紧凑、精度高

在紧凑尺寸下内置电容位移传感器，保证了压电台的线性度和精度，压电台线性度0.03%，单向和双向重复定位精度分别达到1nm和3nm。

3、支持ID芯片功能

运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。

图示：主要技术参数

下图为压电位移台走1nm台阶时，内部电容传感器的输出（采样速率100Hz）。

如下图所示，PJ12015-S压电位移台带载120g，10μm台阶阶跃响应曲线（配套控制器PE101），进入0.5%误差带的响应时间为30ms。图中曲线为压电台内部电容传感器的位移输出（采样速率25kHz）。

图示：PJ12015-S压电位移台10μm阶跃响应

主要应用场景

本产品的主要应用场景包括：纳米定位、半导体技术、干涉测量、显微成像和生物技术等场景。