新品发布 | PL151-16紧凑型压电惯性位移台

见行科技PL151-16紧凑型压电惯性位移台是一款一维精密运动平台，基于压电惯性原理驱动，内置高精度光栅传感器，行程16mm，闭环最小步距可达5nm，且具有大负载能力，水平放置时法向最大可带2kg负载。本产品内置高精度光栅传感器对位移台的运动进行反馈控制，分辨率可达2nm(rms)，具有较高的闭环精度。产品单向和双向重复定位精度分别达到±50nm和±120nm。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE211压电惯性电机控制器，该控制器集成光栅传感器测量电路，支持闭环控制、自动找零、手动找零、多种预设波形编辑等多种工作模式，通讯接口包含USB、Ethernet等，可实现对压电惯性位移台的高精度控制。

实物照片：产品配套控制器PE211

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

1、高性能压电惯性驱动器

本产品采用了高性能压电惯性驱动器。该驱动器基于锯齿波和惯性原理驱动，可实现纳米级位置控制，有较高的精度，同时有较大的保持力。

2、结构紧凑、精度高

本产品结构紧凑，尺寸仅为45×24×12.5mm。内置增量式光栅传感器，保证了压电位移台的线性度和精度，单向和双向重复定位精度分别达到±50nm和±120nm。

3、支持ID芯片功能

压电位移台内部的ID芯片包含了其控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配压电位移台，因此更换位移台无需重新校准。

4、支持插拔检测功能

控制器内置插拔检测电路，能够自动识别压电位移台与控制器是否有效连接，并对用户进行提醒，提升用户体验感。

图示：主要技术参数

下图为压电位移台走5nm台阶时，内部光栅传感器的输出（采样速率100Hz）。

图示：内置光栅传感器输出

主要应用场景有哪些？

本产品的主要应用场景包括：样品扫描、纳米定位、显微镜、光学对准、测试应用等。