新品发布 | PL121-40大行程高精度压电惯性位移台

发布日期:2024-07-05  来源:  浏览次数:107

见行科技PL121-40大行程高精度压电惯性位移台是一款一维精密运动平台,基于压电惯性原理驱动,内置高精度光栅传感器,行程40mm,闭环最小步距可达5nm,且具有大负载能力,水平放置时法向最大可带3kg负载。     本产品内置高精度光栅传感器对位移台的运动进行反馈控制,分辨率可达2nm(rms),具有较高的闭环精度。产品单向/双向重复定位精度可达±50nm/±120nm。

图示:产品实物

 

图示:产品细节展示

推荐控制器:

PE211压电惯性电机控制器,该控制器集成光栅传感器测量电路,支持闭环控制、自动找零、手动找零、多种预设波形编辑等多种工作模式,通讯接口包含USB、Ethernet等,可实现对压电惯性位移台的高精度控制。

 

 

图示:PE211压电惯性电机控制器

 

图示:上位机软件界面

 

本产品的优势有哪些?

1、高性能压电惯性驱动器

本产品采用了高性能压电惯性驱动器。该驱动器基于锯齿波和惯性原理驱动,可实现纳米级位置控制,有较高的精度,同时有较大的保持力。 

2、结构紧凑、精度高

在紧凑尺寸下内置增量式光栅传感器,保证了压电位移台的线性度和精度,单向/双向重复定位精度可达±50nm/±120nm。

3、支持ID芯片功能

压电位移台内部的ID芯片包含了其控制参数,控制器通过ID芯片识别和适配压电位移台,因此更换位移台无需重新校准。

4、支持插拔检测功能

控制器内置插拔检测电路,能够识别压电位移台与控制器是否有效连接,能够较好的对用户进行提醒,提升用户体验感。

 


图示:主要技术参数

下图为压电位移台走5nm台阶时,内部光栅传感器的输出(采样速率100Hz)。

图示:内置光栅传感器输出

 

主要应用场景有哪些?

本产品的主要应用场景包括:样品扫描、纳米定位、显微镜、光学对准、测试应用等。

 

 

 

 

 

 

 

 

见行科技PL121-40大行程高精度压电惯性位移台是一款一维精密运动平台,基于压电惯性原理驱动,内置高精度光栅传感器,行程40mm,闭环最小步距可达5nm,且具有大负载能力,水平放置时法向最大可带3kg负载。     本产品内置高精度光栅传感器对位移台的运动进行反馈控制,分辨率可达2nm(rms),具有较高的闭环精度。产品单向/双向重复定位精度可达±50nm/±120nm。

图示:产品实物

图示:产品细节展示

推荐控制器:

PE211压电惯性电机控制器,该控制器集成光栅传感器测量电路,支持闭环控制、自动找零、手动找零、多种预设波形编辑等多种工作模式,通讯接口包含USB、Ethernet等,可实现对压电惯性位移台的高精度控制。

图示:PE211压电惯性电机控制器

图示:上位机软件界面

 

本产品的优势有哪些?

1、高性能压电惯性驱动器

本产品采用了高性能压电惯性驱动器。该驱动器基于锯齿波和惯性原理驱动,可实现纳米级位置控制,有较高的精度,同时有较大的保持力。 

2、结构紧凑、精度高

在紧凑尺寸下内置增量式光栅传感器,保证了压电位移台的线性度和精度,单向/双向重复定位精度可达±50nm/±120nm。

3、支持ID芯片功能

压电位移台内部的ID芯片包含了其控制参数,控制器通过ID芯片识别和适配压电位移台,因此更换位移台无需重新校准。

4、支持插拔检测功能

控制器内置插拔检测电路,能够识别压电位移台与控制器是否有效连接,能够较好的对用户进行提醒,提升用户体验感。

图示:主要技术参数

 

下图为压电位移台走5nm台阶时,内部光栅传感器的输出(采样速率100Hz)。

图示:内置光栅传感器输出

 

主要应用场景有哪些?

本产品的主要应用场景包括:样品扫描、纳米定位、显微镜、光学对准、测试应用等。