新品发布 | PJ712-C对称式大负载物镜扫描台

见行科技PJ712-C对称式大负载物镜扫描台是高精度的一维Z向纳米运动平台。采用经过有限元分析优化的柔性铰链放大机构，运动开环行程280μm，闭环行程220μm。  本产品内置高精度电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，本产品对动子和定子的相对位移进行直接测量，具有更高的闭环精度，产品线性度达0.03%FS，单向/双向重复定位精度分别达到3nm/10nm(3sigma)。

图示：产品实物

推荐控制器：

PE101-1单轴数字式压电控制器    该控制器集成电容传感器测量电路，支持开环、闭环、数字控制、模拟控制等多种工作模式，兼容高压放大功能，通讯接口丰富，包含RS422、USB、Ethernet等。可实现对柔性铰链位移台的高精度控制。

图示：产品配套控制器PE101-1

图示：上位机软件界面

图示：上位机软件界面

本产品的优势有哪些？

1、采用高性能柔性铰链

本产品采用对称式高性能柔性铰链，实现纳米级位置控制，同时柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。对称式铰链可以实现高负载能力，并有效的减小了铰链系统位移过程中的俯仰偏摆，有较高的使用寿命，无需维护。

2、结构紧凑、 精度高

本产品在紧凑尺寸下内置高精度电容位移传感器，保证了压电台的线性度和精度。压电台线性度≤0.03%FS，单向/双向重复定位精度分别达到3nm/10nm(3sigma)。

3、支持ID芯片功能

压电位移台内部的ID芯片包含了其控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配压电位移台，因此更换位移台无需重新校准。

图示：主要技术参数

下图为压电位移台走10nm台阶时，内部电容传感器的输出（采样速率100Hz）。

如下图所示，PJ712-C压电位移台带载0.5kg，22μm台阶阶跃响应曲线（配套控制器PE101-1），进入1%误差带的响应时间为46ms以内。图中曲线为压电台内部电容位移传感器的位移输出（采样速率25kHz）。

图示：PJ712-C压电位移台22μm阶跃响应

主要应用场景有哪些？

本产品的主要应用场景包括：微纳加工、样品扫描、显微镜、纳米定位、生物技术、测试应用、半导体技术等场景。