PJ3203 XY轴偏心压电位移台

闭环行程30μm

线性误差0.03%FS

100g带载谐振频率1100Hz

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产品概述

• XY两轴高动态位移台

• 采用直驱式结构与柔性铰链技术

• 内置电容传感器直接测量动定子相对位移

• 满足高速扫描、振动补偿等动态应用需求

• 支持ID芯片功能，控制器通过ID芯片和适配运动台


应用领域
掩模/晶圆定位
扫描显微镜
干涉测量
测量技术
生物技术
掩模/晶圆定位
扫描显微镜
干涉测量
测量技术
生物技术
产品特点
采用柔性铰链系统
柔性铰链系可科实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。
内置高精度电容传感器
内置电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。
支持ID芯片功能
运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。
高刚度驱动系统
驱动系统刚度高，动态范围大，可在大负载下实现高速运动控制。


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